近期,金石能源宣布向客户推出了大腔室单机800MW产能异质结电池生产线,其中,核心产品——800MW的PECVD设备,是目前市面上腔室最大的PECVD设备。
据介绍,800MW产能异质结电池生产线实现了“大产能与产线稳定性的平衡”、“大腔室与产品整体高良率的平衡”、“智能设计与节能降耗的平衡”以及“持续提升与未来发展相融合”的“三平衡一融合”,其重要意义在于,解决了当前市面上诸多异质结产线方案存在的“为了达成产能而腔室过多、设备Uptime难以保证”问题,同时,又能很好融入低银耗技术、微晶技术等,可作为升级到新一代异质结HBC技术的通用平台。
大产能|单机产能达19314片/小时
据称,单机800MW产能的异质结电池生产线采用金石能源7代技术,PECVD设备在日本精密制造,确保了设备的高质量、高稳定性。7代技术的核心部件Showerhead设计更是集合了金石深耕PECVD11年的设计开发经验,整合了电极板、布气板、射频馈入等众多金石独有的专利技术,在确保大面积镀膜大产能输出的同时,还保证了膜层的高质量与高均匀性。
大腔室的设计,使得PECVD设备单腔室获得极高的有效镀膜面积,设备更容易实现大产能。以210mm半片产线为例,载板尺寸为338片,小时产能可达19314片。
此外,产线还具备优秀兼容性和扩展性,大尺寸易迭代,硅片兼容性强,可兼容166mm、182mm硅片设计。