标签：多晶硅生产工艺

谈多晶硅生产新工艺、新设备的开发,该专题文章明确地提出利用乙硅烷热分解法可以生产出高纯度、超大直径多晶硅棒新工艺、新设备的设想，该设想是本人经多年查阅并收集有关乙硅烷资料，经充分研究和...,国际太阳能光伏网